KeyFactor晶圆探针台 I-V/C-V, RF测试测量探针台 产品描述: 模块化系统设计,可配置多种测试测量方案。常用于基础I-V/C-V测量,脉冲I-V测量,高精度I-V/C-V测量,RF、mmW(微波)测试测量。 以下为部分参数,详细参数及方案请联系:sales@/-许先生「键德测试测量系统(东莞)有限公司」 Chuck Diameter 2" to 6" Material Stainless Steel Plating N.A. Planarity <5μm@Ambient Temperature Measurement Accuracy (Electrical) Part # Range Accuracy BasicI-V 1μA rdg+10nA COAX 1nA rdg+10pA COAX-PIV 1nA rdg+10pA TRIAX 10pA rdg+100fA TRIAX-FemtoProbe 1~10pA rdg+10fA